パターン外観検査装置

業種: 電子部品
検査対象: 電子基板シート
検査内容: オープン・ショート汚れ印刷かすみ（にじみ）印刷ズレクラック寸法パタン形状凹凸キズバリ欠け

同一配列に特化した検査処理を標準搭載
過検出を抑制し、高精度な良否判定が実現されます

概要

モノクロ・カラー、ラインセンサカメラ（最大16K）により超高解像度の画像を撮像し、オープン・ショート、欠け、異物、凹凸などの各種欠陥を高精度に検出します。
良品ワークを画像で取り込み、マスターに品種を登録するマスター登録方式を採用しております。
この良品ワークは複数登録可能（学習機能）です。

欠陥検出イメージ

動画でご紹介パターン外観検査装置

検査手法

１. 差分検査
（対応パターン：複雑〇　大きい〇）

取得画像と良品画像の差分から欠陥を検出

複数良品の登録が可能です。（統計的学習機能）
オープン・ショート、欠け、異物、凹凸などの各種欠陥に対応します。

２. 輪郭検査（対応パターン：単純〇　小さい〇）

対象パターン輪郭を登録し、輪郭の内外欠陥を検出

登録：検査対象パターン輪郭を直線で囲み、マスタとなる形状を登録します。良品がなくても、登録することが可能です。
検査：輪郭の内側・外側を個別に検査します。例えば内側は大きい欠陥のみ検出、外側は小さい欠陥のみ検出するなど、検査強度を個別に設定することが可能です。

３. 骨格検査（対応パターン：複雑〇　小さい〇）

骨格画像の特徴点からオープンやショートの欠陥を検出

標準的な光学機器で微細パターン（20～50μm）の合否判定が可能です。
オープン・ショートの欠陥に特化。5,000ピースを7.2secで解析できるため、全数検査にも対応可能です。
位置決めが困難な曲線パターンや伸縮・形状変化にも対応可能です。

主な機能

良品マスター学習機能: 良品ワークを複数登録できる統計的学習機能

個別位置決め追従機能: 各層・部品の位置ずれに対応

位置ずれ判定機能: 位置ずれ寸法異常の検出

未検査領域軽減機能: 多層製品において、パターン位置ずれにより生じる未登録領域も検査可能

過剰検出軽減機能: 不良位置比較判定

機差補正: モノクロ検査時、号機間の違いを自動補正

画像補正: シェーディング、回転、各種デジタルフィルター

輪郭自動登録機能: 輪郭検査時、輪郭をマウスでなぞり良品データとして登録する作業を自動化。自動認識した角を繋ぎ良品データとして登録が可能。登録データに不備がある場合は、エラー部分のみ手動調整

配列自動登録: 「製品部」と「ダミー部」の内、ダミー部を自動認識し、製品部だけが検査対象となるよう領域を調整する機能。製品部の形状は、格子配列、千鳥配列に対応

ベリファイ機能 （オプション）: ベリファイ専用ソフトを使用し、ネットワーク経由で検査装置から離れた場所にて検査結果を読み込み、目視にて最終判定を実施可能

仕様

検査精度

カメラ

ラインカメラ
高感度TDIラインセンサカメラ
ラインセンサカメラ（主要メーカに対応）
カラーラインセンサカメラ（16,382画素、8,192画素、7,500画素）、モノクロラインセンサカメラ（16,382画素、8,192画素）

照明: 高輝度LEDライン照明／高輝度ドーム照明欠陥検出に最適な照明を、選定・ご提案いたします。照明調光用ボードを搭載することで、品種ごとに最適な調光レベルを設定できます。

検査装置: ご希望に合わせて様々な検査装置をオーダーメイドで提供可能です。

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