外観検査システムの課題と限界
～微細かつ複雑な欠陥の検知精度と、インテグレーションの難しさ～

汎用の検査装置では検知できない微細で複雑な欠陥について、実際に当社が行ってきた事例を元に、具体的な検知技術をご紹介しております。