3D高さ計測システム

3D高さ計測システムとは、通常の画像検査では検出できない「高さ方向」を測定し不良を検出するシステムです。
レーザー変位計により超高精細(3,200point/profile)のまま高速サンプリング(16KHz)での計測検査ができます。

検査対象 電子部品、金属、フィルム、ゴム
検査内容 高さ検査(バリ、突起)、深さ検査(寸法、キズ)、体積検査、角度検査

外観検査自動化の成功事例をまとめました

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欠陥イメージ |Defect Image

欠陥イメージ

検査イメージ |Inspection Image

概要

機能 |Function

  • 高さや距離を始め、傾きや角度などXYZすべての面を考慮した寸法計測検査ができます
    センサヘッドタイプによる測定範囲と精度
    タイプ1 タイプ2 タイプ3 タイプ4 タイプ5 タイプ6
    測定範囲Z軸(高さ) 20±2.2mm 64±7.3mm 73±20.5mm 245±34mm 380+95/-220mm 980±400mm
    測定範囲X軸(幅) 7.5mm 16mm 35mm 72mm 210mm 510mm
    繰り返し精度(高さ) 0.3µm 0.4µm 0.5µm 1µm 5µm 10µm
    測定位置精度(幅) 0.3µm 0.5µm 1µm 3µm 10µm 25µm
    センサヘッドタイプによる測定範囲
    測定範囲Z軸
    (高さ)
    測定範囲X軸
    (幅)
    タイプ1 20±2.2mm 7.5mm
    タイプ2 64±7.3mm 16mm
    タイプ3 73±20.5mm 35mm
    タイプ4 245±34mm 72mm
    タイプ5 380+95/-220mm 210mm
    タイプ6 980±400mm 510mm
    センサヘッドタイプによる精度
    繰り返し精度
    (高さ)
    測定位置精度
    (幅)
    タイプ1 0.3µm 0.3µm
    タイプ2 0.4µm 0.5µm
    タイプ3 0.5µm 1µm
    タイプ4 1µm 3µm
    タイプ5 5µm 10µm
    タイプ6 10µm 25µm
  • 超高精細(3,200point/profile)のまま高速サンプリング(16KHz)での計測検査が可能
  • 高さ画像から対象物表面の印字や模様などの表面状態に左右されず凹凸などの外観検査が可能
    高さ測定
    高さ測定
    反射光測定
    反射光測定
    拡散光測定
    拡散光測定
  • 対象ワークの傾きによる位置ずれを自動補正する機能により位置決めが不要
  • ガラス・鏡面、金属、樹脂・ゴムなどあらゆる材質に対応可能
基盤
ギア
フィルム

スペック |Spec

対応OS Microsoft® Windows® 10 64bit
外部ユニット制御(PLC) DIO、LANまたはRS232C通信にて制御可能
多品種対応
  • 標準で100種類の検査設定の保存が可能(拡張可能)
  • 品種間での設定コピーが可能
機能 高精度位置決め機能、3次元傾き補正、カメラピント調整機能、波形表示機能、3Dグラフ表示機能

お問い合わせ・資料請求

9:00~17:00(土日祝・年末年始除く)


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