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パターン外観検査装置

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業種
電子部品
検査対象
電子基板 シート
検査内容
オープン・ショート 汚れ 印刷かすみ(にじみ) 印刷ズレ クラック 寸法 パタン形状 凹凸 キズ バリ 欠け

同一配列に特化した検査処理を標準搭載
過検出を抑制し、高精度な良否判定が実現されます

概要

モノクロ・カラー、ラインセンサカメラ(最大16K)により超高解像度の画像を撮像し、オープン・ショート、欠け、異物、凹凸などの各種欠陥を高精度に検出します。
良品ワークを画像で取り込み、マスターに品種を登録するマスター登録方式を採用しております。
この良品ワークは複数登録可能(学習機能)です。

欠陥検出イメージ

欠陥検出イメージ

動画でご紹介 パターン外観検査装置

検査手法

1. 差分検査
( 対応パターン:複雑〇 大きい〇 )

差分画像

取得画像と良品画像の差分から欠陥を検出

  • 複数良品の登録が可能です。(統計的学習機能)
  • オープン・ショート、欠け、異物、凹凸などの各種欠陥に対応します。

2. 輪郭検査 ( 対応パターン:単純〇 小さい〇 )

輪郭検査

対象パターン輪郭を登録し、輪郭の内外欠陥を検出

  • 登録:検査対象パターン輪郭を直線で囲み、マスタとなる形状を登録します。良品がなくても、登録することが可能です。
  • 検査:輪郭の内側・外側を個別に検査します。例えば内側は大きい欠陥のみ検出、外側は小さい欠陥のみ検出するなど、検査強度を個別に設定することが可能です。

3. 骨格検査 ( 対応パターン:複雑〇 小さい〇 )

骨格検査

骨格画像の特徴点からオープンやショートの欠陥を検出

  • 標準的な光学機器で微細パターン(20~50μm)の合否判定が可能です。
  • オープン・ショートの欠陥に特化。5,000ピースを7.2secで解析できるため、全数検査にも対応可能です。
  • 位置決めが困難な曲線パターンや伸縮・形状変化にも対応可能です。

主な機能

良品マスター学習機能
良品ワークを複数登録できる統計的学習機能
個別位置決め追従機能
各層・部品の位置ずれに対応
位置ずれ判定機能
位置ずれ寸法異常の検出
未検査領域軽減機能
多層製品において、パターン位置ずれにより生じる未登録領域も検査可能
過剰検出軽減機能
不良位置比較判定
機差補正
モノクロ検査時、号機間の違いを自動補正
画像補正
シェーディング、回転、各種デジタルフィルター
輪郭自動登録機能
輪郭検査時、輪郭をマウスでなぞり良品データとして登録する作業を自動化。自動認識した角を繋ぎ良品データとして登録が可能。登録データに不備がある場合は、エラー部分のみ手動調整
配列自動登録
「製品部」と「ダミー部」の内、ダミー部を自動認識し、製品部だけが検査対象となるよう領域を調整する機能。製品部の形状は、格子配列、千鳥配列に対応
配列自動登録
ベリファイ機能
(オプション)
ベリファイ専用ソフトを使用し、ネットワーク経由で検査装置から離れた場所にて検査結果を読み込み、目視にて最終判定を実施可能

仕様

検査精度
検査精度
カメラ
  • ラインカメラ
    高感度TDIラインセンサカメラ
  • ラインセンサカメラ(主要メーカに対応)
    カラーラインセンサカメラ(16,382画素、8,192画素、7,500画素)、モノクロラインセンサカメラ(16,382画素、8,192画素)
照明
高輝度LEDライン照明 / 高輝度ドーム照明 欠陥検出に最適な照明を、選定・ご提案いたします。照明調光用ボードを搭載することで、品種ごとに最適な調光レベルを設定できます。
検査装置
ご希望に合わせて様々な検査装置をオーダーメイドで提供可能です。
検査装置

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